Un procesor plasmatic este un dispozitiv utilizat pentru procesarea plasmatică. Structura sa constă din următoarele componente principale:
Camera de descărcare: Camera de descărcare este componenta de bază a unui procesor plasmatic. Folosește câmpuri electrice de înaltă tensiune de curent alternativ sau frecvență radio pentru a provoca descărcări de gaz, formând astfel plasmă. Camera de descărcare este de obicei fabricată din materiale izolante, cum ar fi ceramică sau sticlă.
Camera de lucru: Camera de lucru este locația principală pentru procesarea materialelor. Diferite efecte de procesare sunt obținute prin controlul diferitelor parametri de gaz, presiune și putere. Camera de lucru este de obicei fabricată din materiale cu proprietăți bune de etanșare a vidului, cum ar fi metal sau ceramică.
Sistem de evacuare: Sistemul de vid este utilizat pentru extragerea gazului din camera de lucru pentru a crea un mediu de vid în timpul procesării. Sistemul de vid constă de obicei dintr -o pompă de vid și un sistem de control aferent.
Sursa de alimentare cu frecvență ridicată -: Sursa de alimentare cu frecvență ridicată - Frecvență oferă energie procesorului plasmatic, ionizând gazul pentru a forma plasmă printr -un câmp electric de frecvență ridicat -. Sursa de alimentare cu frecvență ridicată - constă de obicei din componente electronice și sisteme de control conexe.
Sistem de control automat: sistemul de control automat controlează întregul proces de procesare a plasmei, inclusiv setarea parametrilor, controlul timpului de procesare și monitorizarea nivelului de vid. Sistemul de control automat constă de obicei dintr -un computer și un software de control aferent.
În plus, procesoarele plasmatice sunt echipate cu un sistem de alimentare cu gaze pentru a furniza gazele necesare camerei de descărcare. Acest sistem constă de obicei dintr -un cilindru de gaz, un regulator de presiune, un controler de debit și alte componente.
În rezumat, structura unui procesor plasmatic include camera de descărcare, o cameră de lucru, un sistem de vid, un mare sursă de alimentare cu frecvență - și un sistem de control automat. Funcționarea coordonată a acestor componente permite procesorului plasmatic să inducă diverse reacții fizice și chimice pe suprafața materialului, obținând astfel tratamentul dorit.